
| ម៉ូដែល | SMU-50YJ | SMU-90YJ | SMU-180YJ |
| ស៊ីស៊ីឌី | កាមេរ៉ាឧស្សាហកម្ម 20 លានភីកសែល | ||
| កែវភ្នែក | កែវថតទ្វេទិសច្បាស់ខ្លាំង | ||
| ប្រព័ន្ធប្រភពពន្លឺ | ពន្លឺវណ្ឌវង្កប៉ារ៉ាឡែលរាងតេឡេសង់ទ្រិច និងពន្លឺផ្ទៃរាងជាចិញ្ចៀន។ | ||
| របៀបចលនាអ័ក្ស Z | ៤៥មម | ៥៥មម | ១០០មម |
| សមត្ថភាពទ្រទម្ងន់ | ១៥គីឡូក្រាម | ||
| វាលដែលមើលឃើញ | ៤២ × ៣៥ ម.ម | ៩០ × ៦០ ម.ម | ១៨០ × ១៣០ ម.ម |
| ភាពត្រឹមត្រូវនៃការធ្វើម្តងទៀត | ±1.5μm | ±2μm | ±5μm |
| ភាពត្រឹមត្រូវនៃការវាស់វែង | ±3μm | ±5μm | ±៨មីក្រូម៉ែត្រ |
| កម្មវិធីវាស់ស្ទង់ | FMS-V2.0 | ||
| របៀបវាស់ស្ទង់ | វាអាចវាស់ផលិតផលតែមួយ ឬច្រើនក្នុងពេលតែមួយ។ ពេលវេលាវាស់វែង៖ ≤1-3 វិនាទី។ | ||
| ល្បឿនវាស់ | ៨០០-៩០០ ដុំ/ម៉ោង | ||
| ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល | AC220V/50Hz, 200W | ||
| បរិយាកាសប្រតិបត្តិការ | សីតុណ្ហភាព៖ ២២ ℃ ± ៣ ℃ សំណើម៖ ៥០ ~ ៧០% រំញ័រ៖ <0.002mm/s, <15Hz | ||
| ទម្ងន់ | ៣៥គីឡូក្រាម | ៤០គីឡូក្រាម | ១០០គីឡូក្រាម |
| ការធានា | ១២ ខែ | ||
ម៉ាស៊ីនវាស់ចក្ខុវិស័យដែលមានប៊ូតុងតែមួយមានលក្ខណៈនៃវាលធំទូលាយនៃទិដ្ឋភាព ការវាស់វែងភ្លាមៗ ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងស្វ័យប្រវត្តិកម្មពេញលេញ។
វារួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះនូវរូបភាពពីចម្ងាយជាមួយនឹងកម្មវិធីដំណើរការរូបភាពឆ្លាតវៃ ដែលធ្វើឱ្យកិច្ចការវាស់វែងដ៏ធុញទ្រាន់ណាមួយមានភាពសាមញ្ញបំផុត។
វាគ្រាន់តែត្រូវដាក់ស្នាដៃនៅក្នុងតំបន់វាស់វែងដែលមានប្រសិទ្ធភាព ហើយបន្ទាប់មកចុចប៊ូតុងស្រាលៗ វិមាត្រពីរវិមាត្រទាំងអស់នៃស្នាដៃនឹងត្រូវបានវាស់វែងភ្លាមៗ។
វាប្រើប្រាស់កាមេរ៉ាឌីជីថលទំហំ 20 មេហ្គាភិចសែល និងកែវថតពីរជាន់ដែលមានអង្កត់ផ្ចិតធំ និងមានជម្រៅខ្ពស់ ហើយអាចកំណត់អត្តសញ្ញាណស្នាដៃដោយស្វ័យប្រវត្តិដោយមិនចាំបាច់កំណត់ទីតាំង។ ពេលវេលាវាស់វែងសម្រាប់ទំហំ 100 គឺតិចជាង 1 វិនាទី ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវប្រសិទ្ធភាពវាស់វែង។